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Physical mechanisms behind the ion-cut in hydrogen implanted silicon
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Ion beams in silicon processing and characterization
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Effects of hydrogen implantation temperature on ion-cut of silicon
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Orientation dependence of blistering in H-implanted Si
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Oxidation and protection in copper and copper alloy thin films
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Investigation of plasma hydrogenation and trapping mechanism for layer transfer
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Formation of silicides in a cavity applicator microwave system
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Compound Phase Formation in Thin Film Structures
Veröffentlicht in Critical reviews in solid state and materials sciences
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