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Plasma sealing of a low-K dielectric polymer
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Atomic layer deposited WNxCy films growth on SiC surfaces
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Atomic layer deposited WN(x)C(y) films growth on SiC surfaces
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Atomic layer deposited WN x C y films growth on SiC surfaces
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Turbulent Couette flow up to ${{Re}}_\tau =2000
Veröffentlicht in Journal of fluid mechanics
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