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Defect-Free SiGe/Si Multistacks for Next-Generation CFET Architectures
Veröffentlicht in ECS transactions
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Low Temperature Selective Epitaxy of Group-IV Semiconductors for Nanoelectronics
Veröffentlicht in ECS transactions
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Source/Drain Epitaxy for Nanosheet-Based CFET Devices
Veröffentlicht in ECS transactions
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