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Piezoresistive silicon thin film sensor array for biomedical applications
Veröffentlicht in Thin solid films
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Deposition of silicon nitride thin films by hot-wire CVD at 100 °C and 250 °C
Veröffentlicht in Thin solid films
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High-rate deposition of nano-crystalline silicon thin films on plastics
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
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Ultra-sensitive shape sensor test structures based on piezoresistive doped nanocrystalline silicon
Veröffentlicht in Vacuum
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Deposition of silicon nitride thin films by hot-wire CVD at 100 @uoC and 250 @uoC
Veröffentlicht in Thin solid films
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