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Nanocolumnar TiN thin film growth by oblique angle sputter-deposition: Experiments vs. simulations
von
Bouaouina, Boudjemaa
,
Mastail, Cédric
,
Besnard, Aurélien
,
Mareus, Rubenson
,
Nita, Florin
,
Michel, Anny
,
Abadias, Grégory
Veröffentlicht in
Materials & Design
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2
Texture and Stress Evolution in HfN Films Sputter-Deposited at Oblique Angles
von
Abadias, Grégory
,
Anğay, Fırat
,
Mareus, Rubenson
,
Mastail, Cédric
Veröffentlicht in
Coatings (Basel)
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3
Study of columnar growth, texture development and wettability of reactively sputter-deposited TiN, ZrN and HfN thin films at glancing angle incidence
von
Mareus, Rubenson
,
Mastail, Cédric
,
Anğay, Fırat
,
Brunetière, Noël
,
Abadias, Gregory
Veröffentlicht in
Surface & coatings technology
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Artikel
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4
Effect of temperature on the growth of TiN thin films by oblique angle sputter-deposition: A three-dimensional atomistic computational study
von
Mareus, Rubenson
,
Mastail, Cédric
,
Nita, Florin
,
Michel, Anny
,
Abadias, Grégory
Veröffentlicht in
Computational materials science
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Artikel
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5
Investigation of mesoporous silicon thermal conductivity: Effect of nanographene insertion
von
Nar, Sibel
,
Kusiak, Andrzej
,
Mareus, Rubenson
,
Stolz, Arnaud
,
Machon, Denis
,
Caillard, Amaël
,
Battaglia, Jean-Luc
,
Boucherif, Abderraouf
,
Semmar, Nadjib
Veröffentlicht in
Microporous and mesoporous materials
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Artikel
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6
Croissance de films minces de TiN, ZrN, HfN et TiAlN en incidence oblique : Modélisation multi-échelle et synthèse par pulvérisation magnétron réactive
von
Mareus, Rubenson
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Dissertation
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