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    In situ phase-modulated ellipsometry study of the surface damaging process of silicon under atomic hydrogen

    In situ phase-modulated ellipsometry study of the surface damaging process of silicon under atomic hydrogen von Morell, G, Vargas, I.M, Manso, J.Y, Guzmán, J.R, Weiner, B.R

    Veröffentlicht in Solid state communications

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