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    Expanded beam deflection method for simultaneous measurement of displacement and vibrations of multiple microcantilevers

    Expanded beam deflection method for simultaneous measurement of displacement and vibrations of multiple microcantilevers von Nieradka, K., Małozięć, G., Kopiec, D., Grabiec, P., Janus, P., Sierakowski, A., Gotszalk, T.


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    Fabrication and metrology of electromagnetically actuated microcantilever arrays for biochemical sensing

    Fabrication and metrology of electromagnetically actuated microcantilever arrays for biochemical sensing von Gotszalk, T., Nieradka, K., Kopiec, D., Maloziec, G., Janus, P., Sierakowski, A., Grabiec, P.


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