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    Investigations of diamond-like carbon films produced directly from an ion beam of industrial ion source with a cold cathode

    Investigations of diamond-like carbon films produced directly from an ion beam of industrial ion source with a cold cathode von Enisherlova, K.L., Kontsevoi, Yu.A., Chervyakova, E.N., Mitrofanov, E.A., Maishev, Yu.P.


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