-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
Mechanical properties of surface modified silica low-k thin films
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
6
Synthesis of SiOF nanoporous ultra low-k thin film
Veröffentlicht in Journal of materials science. Materials in electronics
VolltextArtikel -
7
-
8
Synthesis and Characterization of Porogen Based Porous Low-k Thin Films
Veröffentlicht in SILICON
VolltextArtikel -
9
Amorphization of SiO2 Thin Films by Using 200 MeV Ag15+ Ions
Veröffentlicht in SILICON
VolltextArtikel -
10
-
11
-
12