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    Ar+O2+H2スパッタによるIn–Ga–Zn–O薄膜トランジスタの低温形成

    Ar+O2+H2スパッタによるIn–Ga–Zn–O薄膜トランジスタの低温形成 von 古田, 守, Mahadhi, Aman S G, 曲, 勇作, 神寳, 健太, 是友, 大地


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    Low-temperature Process for IGZO TFT with Ar+O2+H2 sputtered IGZO channel

    Low-temperature Process for IGZO TFT with Ar+O2+H2 sputtered IGZO channel von Furuta, Mamoru, Aman, S G Mahadhi, Magari, Yusaku, Shimpo, Kenta, Koretomo, Daichi


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