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Ar+O2+H2スパッタによるIn–Ga–Zn–O薄膜トランジスタの低温形成
von
古田, 守
,
Mahadhi, Aman S G
,
曲, 勇作
,
神寳, 健太
,
是友, 大地
Veröffentlicht in
応用物理学会学術講演会講演予稿集
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Low-temperature Process for IGZO TFT with Ar+O2+H2 sputtered IGZO channel
von
Furuta, Mamoru
,
Aman, S G Mahadhi
,
Magari, Yusaku
,
Shimpo, Kenta
,
Koretomo, Daichi
Veröffentlicht in
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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