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Tunnel field-effect transistor without gate-drain overlap
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Influence of absorbed water components on SiOCH low- k reliability
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Characterization of a Molecular Sieve Coating Using Ellipsometric Porosimetry
Veröffentlicht in Langmuir
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Reaction of Trimethylchlorosilane in Spin-On Silicalite-1 Zeolite Film
Veröffentlicht in Langmuir
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Narrow Trench Corrosion of Copper Damascene Interconnects
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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