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    PRINT CHECK REPEATER DEFECT DETECTION von Li, Xiaochun, Smith, James A, Lee, Hucheng, Wu, Kenong, Maeng, Jusang, Patwary, Nurmohammed, Shin, Heonju

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    PRINT CHECK REPEATER DEFECT DETECTION von PATWARY, Nurmohammed, MAENG, Jusang, WU, Kenong, SHIN, Heonju, LI, Xiaochun, LEE, Hucheng, SMITH, James A

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    The effect of La2O3-incorporation in HfO2 dielectrics on Ge substrate by atomic layer deposition

    The effect of La2O3-incorporation in HfO2 dielectrics on Ge substrate by atomic layer deposition von Oh, Il-kwon, Kim, Min-Kyu, Lee, Jae-seung, Lee, Chang-Wan, Lansalot-Matras, Clement, Noh, Wontae, Park, Jusang, Noori, Atif, Thompson, David, Chu, Schubert, Maeng, W.J., Kim, Hyungjun

    Veröffentlicht in Applied surface science

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