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    Replacing libraries in scatterometry

    Replacing libraries in scatterometry von Madsen, Jonas Skovlund Møller, Jensen, Søren Alkærsig, Nygård, Jesper, Hansen, Poul Erik

    Veröffentlicht in Optics express

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    Scatterometry for optimization of injection molded nanostructures at the fabrication line

    Scatterometry for optimization of injection molded nanostructures at the fabrication line von Madsen, Jonas Skovlund, Jensen, Søren Alkærsig, Nakotte, Lars, Vogelsang, Arne, Thamdrup, Lasse Højlund, Czolkos, Ilja, Johansson, Alicia, Garnæs, Jørgen, Nielsen, Theodor, Nygård, Jesper, Hansen, Poul Erik


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    Study on Microgratings Using Imaging, Spectroscopic, and Fourier Lens Scatterometry

    Study on Microgratings Using Imaging, Spectroscopic, and Fourier Lens Scatterometry von Madsen, Jonas Skovlund, Hansen, Poul Erik, Boher, Pierre, Dwarakanath, Deepak, Jørgensen, Jan Friis, Bilenberg, Brian, Nygård, Jesper, Madsen, Morten Hannibal


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