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Bulk Micromachined Titanium Microneedles
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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High electron mobility AlGaN/GaN heterostructure on (111) Si
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Highly sensitive gas sensor based on integrated titania nanosponge arrays
Veröffentlicht in Applied physics letters
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A micromachined, single-crystal silicon, tunable resonator
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Five parametric resonances in a microelectromechanical system
Veröffentlicht in Nature (London)
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Capacitance based tunable resonators
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Planarity of large MEMS
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Titanium-based dielectrophoresis devices for microfluidic applications
Veröffentlicht in Biomedical microdevices
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A millinewton microloading device
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Microinstruments for submicron material studies
Veröffentlicht in Journal of materials research
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