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Photolithography system using annular illumination
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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The application of an unstable resonator to a high-pressure CW CO2 laser
Veröffentlicht in Optics and lasers in engineering
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CW 20-kW SAGE CO2 laser for industrial use
Veröffentlicht in IEEE journal of quantum electronics
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Photolithography system using modified illumination
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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CW 20-kW SAGE CO/sub 2/ laser for industrial use
Veröffentlicht in IEEE journal of quantum electronics
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7
CW 20-kW SAGE CO(2) laser for industrial use
Veröffentlicht in IEEE journal of quantum electronics
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Proposal of a next-generation super resolution technique
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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