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    Energetic O- ions and O atoms in planar magnetron sputtering of ZnO target

    Energetic O- ions and O atoms in planar magnetron sputtering of ZnO target von TOMINAGA, K, SUEYOSHI, Y, MUNFEI, C, SHINTANI, Y


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    Simultaneous measurements of energetic O- ions and O atoms in sputtering of zinc oxide target

    Simultaneous measurements of energetic O- ions and O atoms in sputtering of zinc oxide target von TOMINAGA, K, SUEYOSHI, Y, IMAI, H, MUNFEI CHONG, SHINTANI, Y


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    Preparation of conductive ZnO:Al films by a facing target system with a strong magnetic field

    Preparation of conductive ZnO:Al films by a facing target system with a strong magnetic field von TOMINAGA, K, KATAOKA, M, UEDA, T, MUNFEI CHONG, SHINTANI, Y, MORI, I

    Veröffentlicht in Thin solid films

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    Energetic O super(-) ions and O atoms in planar magnetron sputtering of ZnO target

    Energetic O super(-) ions and O atoms in planar magnetron sputtering of ZnO target von Tominaga, Kikuo, Sueyoshi, Yasuhiko, Munfei, Chong, Shintani, Yoshihiro


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