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Methods to improve the crystallinity of PbZrTiO3 and Pt films for MEMS applications
von
ROBY, MARY ALYSSA DRUMMOND
,
MULLIS, OLLEN HARVEY
,
SRINIVASAN, BHASKAR
,
TREECE, SARAH EMILY
,
CHANG, YUNGSHAN
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METHODS TO IMPROVE THE CRYSTALLINITY OF PbZrTiO3 AND Pt FILMS FOR MEMS APPLICATIONS
von
CHANG YUNGSHAN
,
SRINIVASAN BHASKAR
,
ROBY MARY ALYSSA DRUMMOND
,
TREECE SARAH EMILY
,
MULLIS OLLEN HARVEY
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INTEGRATED CIRCUIT HAVING FERROELECTRIC MEMORY WITH DENSE VIA BARRIER
von
CAMPBELL JOHN PAUL
,
YU ZHIYI
,
MULLIS OLLEN HARVEY
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INTEGRATED CIRCUIT HAVING FERROELECTRIC MEMORY WITH DENSE VIA BARRIER
von
YU, ZHIYI
,
MULLIS, OLLEN, HARVEY
,
CAMPBELL, JOHN, PAUL
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Metallurgy
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