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    Lithographic apparatus and device manufacturing method

    Lithographic apparatus and device manufacturing method von VAN HASSEL MARCO CORNELIS J.M, BONTEKOE MARCEL, MULCKHUYSE WOUTER F.W, TINNEMANS PATRICIUS A.J, KESSELS LAMBERTUS G.M

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    Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing dynamic correction for magnification and position in maskless lithography

    Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing dynamic correction for magnification and position in maskless lithography von DE JAGER PIETER WILLEM H, VENEMA WILLEM J, MULCKHUYSE WOUTER F.W, VAN DEN AKKER THEODORUS L, KESSELS LAMBERTUS GERARDUS M

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