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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FELDEFFEKT- TRANSISTOREN MIT ISOLIERTER TORELEKTRODE UNTER ANWENDUNG VON IONENIMPLANTATION
von
GYULAI JOZSEF DR
,
MEHN MARTON
,
GYIMESI JENOE
,
ZANATI TIBOR
,
MOTAL GYOERGY DR
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VERFAHREN ZUR THERMISCHEN AUSBILDUNG VON MASKIERENDEN UND PASSIVIERENDEN S102-SCHICHTEN MIT DER SCHICHTFOLGE SILIZIUMOXYD-SILIZIUMOXYD MIT EINGELAGERTEN PHOSPHORIONEN-SILIZIUMOXYD
von
MOTAL GYOERGY
,
GAL IMRE
,
GIBER JANOS DR
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Esp@Cenet
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