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Ion implantation impurity profiles in HfO2
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
VolltextArtikel -
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Diffusion coefficient of B in HfO2
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
VolltextArtikel -
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Diffusion Coefficient of As and P in HfO 2
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
VolltextArtikel -
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