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    AIR GUIDING ASSEMBLY

    AIR GUIDING ASSEMBLY von VOIGT DERIK THOMAS, MORADNIA PAUL, DRESSEL, BRIAN, E

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    Strain accumulation and relaxation on crack formation in epitaxial AlN film on Si (111) substrate

    Strain accumulation and relaxation on crack formation in epitaxial AlN film on Si (111) substrate von Aqib, Muhammad, Pouladi, Sara, Moradnia, Mina, Kumar, Rheno Paul Rajesh, Kim, Nam-In, Ryou, Jae-Hyun

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    Crack-free > 1-μm AlN layer on Si substrate using ductile interlayer for strain modification in epitaxial film

    Crack-free > 1-μm AlN layer on Si substrate using ductile interlayer for strain modification in epitaxial film von Aqib, Muhammad, Moradnia, Mina, Ji, Mihee, Parameshwaran, Vijay S., Sarney, Wendy L., Pouladi, Sara, Kim, Nam-In, Kumar, Rheno Paul Rajesh, Garrett, Gregory A., Sampath, Anand V., Forrest, Rebecca L., Ryou, Jae-Hyun

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