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ENHANCED PLASMA ETCHING
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ENHANCED PLASMA ETCHING
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MLYNKO, WALTER EUGENE
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EGITTO, FRANK DANIEL
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Enhanced plasma etching
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MLYNKO, WALTER EUGENE
,
EGITTO, FRANK DANIEL
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PROCESS FOR REMOVING CONTAMINANT FROM HOLES
von
MLYNKO, WALTER EUGENE
,
EGITTO, FRANK DANIEL
,
SUSKO, ROBIN ANNE
,
EMMI, FRANCIS
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METHOD OF PLASMA ETCHING A SUBSTRATE
von
BABU, SURYADEVARA VIJAYAKUMAR
,
HOFFARTH, JOSEPH GERARD
,
MLYNKO, WALTER EUGENE
,
KNOLL, ALLAN ROBERT
,
REMBETSKI, JOHN FRANCIS
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6
PROCESS FOR REMOVING CONTAMINANT FROM HOLES
von
MLYNKO, WALTER EUGENE
,
EGITTO, FRANK DANIEL
,
SUSKO, ROBIN ANNE
,
EMMI, FRANCIS
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Plasma-Ätzen
von
EGITTO, FRANK DANIEL, BINGHAMTON, N.Y. 13905, US
,
MLYNKO, WALTER EUGENE, VESTAL, N.Y. 13850, US
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8
Process for removing contaminant from holes
von
MLYNKO, WALTER EUGENE
,
EGITTO, FRANK DANIEL
,
SUSKO, ROBIN ANNE
,
EMMI, FRANCIS
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Patent
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Method of plasma etching a substrate
von
BABU, SURYADEVARA VIJAYAKUMAR
,
HOFFARTH, JOSEPH GERARD
,
MLYNKO, WALTER EUGENE
,
KNOLL, ALLAN ROBERT
,
REMBETSKI, JOHN FRANCIS
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Esp@Cenet
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