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    VAPOR DEPOSITION SOURCE AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS

    VAPOR DEPOSITION SOURCE AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS von AGAWA YOSHIAKI, MIYAWAKI TSUGIKO, TANEMURA MASAYUKI

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    COAXIAL TYPE VACUUM ARC DEPOSITION SOURCE AND VACUUM DEPOSITION SYSTEM von AGAWA YOSHIAKI, MIYAWAKI TSUGIKO, MATSUURA MASAMICHI, TANEMURA MASAYUKI, YAMAGUCHI KOICHI

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