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Etching processes using C4F8 for silicon dioxide and CF4 for titanium nitride
von
MEZZAPELLE JOSEPH J
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Etching processes using C
von
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Etching method letting the conductor outside
von
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ETCHING PROCESSES USING C4F8 FOR SILICON DIOXIDE
von
MEZZAPELLE JOSEPH J
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Determining root cause for alarm in processing system
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MEZZAPELLE JOSEPH J
,
GOODRICH STEPHEN W
,
ZHOU LIN
,
SHNEYDER DMITRIY
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Determining root cause for alarm in processing system
von
Shneyder, Dmitriy
,
Goodrich, Stephen W
,
Mezzapelle, Joseph J
,
Zhou, Lin
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7
DETERMINING ROOT CAUSE FOR ALARM IN PROCESSING SYSTEM
von
MEZZAPELLE JOSEPH J
,
GOODRICH STEPHEN W
,
ZHOU LIN
,
SHNEYDER DMITRIY
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Apparatus and method to improve resist line roughness in semiconductor wafer processing
von
LI WAI-KIN
,
MEZZAPELLE JOSEPH J
,
MALIK RAJEEV
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Apparatus and method to improve resist line roughness in semiconductor wafer processing
von
Li, Wai-kin
,
Malik, Rajeev
,
Mezzapelle, Joseph J
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Apparatus and method to improve resist line roughness in semiconductor wafer processing
von
LI WAI-KIN
,
MEZZAPELLE JOSEPH J
,
MALIK RAJEEV
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Apparatus and method to improve resist line roughness in semiconductor wafer processing
von
LI WAI-KIN
,
MEZZAPELLE JOSEPH J
,
MALIK RAJEEV
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MIMcap top plate pull-back
von
YANG HAINING
,
MEZZAPELLE JOSEPH J
,
KERST UWE
,
FAYAZ MOHAMMED FAZIL
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MIMcap top plate pull-back
von
Fayaz, Mohammed Fazil
,
Yang, Haining
,
Kerst, Uwe
,
Mezzapelle, Joseph J
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Determining root cause for alarm in processing system
von
MEZZAPELLE JOSEPH J
,
GOODRICH STEPHEN W
,
ZHOU LIN
,
SHNEYDER DMITRIY
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Extreme scaling with ultra-thin Si channel MOSFETs
von
Doris, B.
,
Meikei Ieong
,
Kanarsky, T.
,
Ying Zhang
,
Roy, R.A.
,
Dokumaci, O.
,
Zhibin Ren
,
Fen-Fen Jamin
,
Leathen Shi
,
Natzle, W.
,
Hsiang-Jen Huang
,
Mezzapelle, J.
,
Mocuta, A.
,
Womack, S.
,
Gribelyuk, M.
,
Jones, E.C.
,
Miller, R.J.
,
Wong, H.-S.P.
,
Haensch, W.
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