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1
Method of generating a photolithography patterning device, computer program, patterning device, method of determining the position of a target image on or proximate a substrate, me...
von
MICKAN UWE
,
MEIJER HENDRICUS J.M
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2
Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby
von
VAN EMPEL TJARKO ADRIAAN RUDOLF
,
MEIJER HENDRICUS J.M
,
MARIA ZAAL KOEN J.J
,
HOPMAN JAN
,
KLUSE MARCO L
,
OTTENS JOOST J
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3
Lithographic apparatus and method of manufacturing an electrostatic clamp for a lithographic apparatus
von
MEIJER HENDRICUS J.M
,
HAM ERIK L
,
MOORS JOHANNES H.J
,
LEIJTENS JOHANNES A.P
,
NEERHOF HENDRIK A.J
,
HOPMAN JAN
,
VAN MIERLO HUBERT A
,
KLUSE MARCO L
,
OTTENS JOOST J
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4
Lithographic apparatus and patterning device transport
von
MEIJER HENDRICUS J.M
,
HAM ERIK L
,
MOORS JOHANNES H.J
,
HEERENS GERT-JAN
,
MEIJER ELLARD A
,
MERTENS BASTIAAN M
,
MEILING HANS
,
LANSBERGEN ROBERT G.M
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5
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
MICKAN UWE
,
LOOPSTRA ERIK R
,
MEIJER HENDRICUS J.M
,
LIPSON MATTHEW
,
UTTERDIJK TAMMO
,
MULKENS JOHANNES CATHARINUS H
,
JASPER JOHANNES C.M
,
DIERICHS MARCEL MATHIJS THEODORE M
,
BASELMANS JOHANNES J.M
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6
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
STRAAIJER ALEXANDER
,
LOOPSTRA ERIK R
,
BUTLER HANS
,
SENGERS TIMOTHEUS F
,
SANTEN HELMAR V
,
MERTENS JEROEN JOHANNES S.M
,
SIMON KLAUS
,
DONDERS SJOERD N.L
,
RITSEMA ROELOF A.S
,
DE SMIT JOANNES T
,
KOLESNYCHENKO ALEKSEY
,
MEIJER HENDRICUS J.M
,
SCHAIK FRANK V
,
LOF JOERI
,
MULKENS JOHANNES C.H
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7
Lithographic device with a three-dimensionally positionable mask holder
von
LOOPSTRA
,
ERIK R
,
SPERLING
,
FRANK B
,
VAN EIJK
,
JAN
,
MEIJER
,
HENDRICUS J.M
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8
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
HOOGENDAM CHRISTIAAN A
,
VAN SCHAIK FRANK
,
STRAAIJER ALEXANDER
,
LOOPSTRA ERIK R
,
MULKENS JOHANNES CATHARINUS H
,
VAN SANTEN HELMAR
,
BUTLER HANS
,
STREEFKERK BOB
,
MERTENS JEROEN JOHANNES S.M
,
SIMON KLAUS
,
DONDERS SJOERD N.L
,
RITSEMA ROELOF A.S
,
DE SMIT JOANNES T
,
SENGERS THIMOTHEUS F
,
KOLESNYCHENKO ALEKSEY
,
MEIJER HENDRICUS J.M
,
BIJLAART ERIK T.M
,
LOF JOERI
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Patent
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9
Positioning device having two manipulators operating in parallel, and optical lithographic device provided with such a positioning device
von
VERMEER, ADRIANUS J.P.M
,
VAN DER MAADEN, JOHAN
,
VAN EIJK, JAN
,
MEIJER, HENDRICUS J.M
,
MARKVOORT, JAN ALBERT
,
ROZENVELD, JOHANNES ALBERT
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10
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
HOOGENDAM CHRISTIAAN A
,
STRAAIJER ALEXANDER
,
LOOPSTRA ERIK R
,
VAN SANTEN HELMAR
,
BUTLER HANS
,
SENGERS TIMOTHEUS F
,
STREEFKERK BOB
,
SIMON KLAUS
,
OTTENS JOOST J
,
DONDERS SJOERD N.L
,
DE SMIT JOANNES T
,
MEIJER HENDRICUS J.M
,
MARIA MERTENS JEROEN J.S
,
SCHAIK FRANK V
,
DEN BOEF ARIE J.M
,
KOLESNYCHENKO ALEKSEY Y
,
KROON MARK
,
VAN DE KERKHOF MARCUS A
,
BIJLAART ERIK T.M
,
LOF JOERI
,
MULKENS JOHANNES C.H
,
RITSEMA ROELOF AEILKO S
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11
Positioning device having two manipulators operating in parallel, and optical lithographic device provided with such a positioning device
von
VERMEER, ADRIANUS J.P.M
,
VAN DER MAADEN, JOHAN
,
VAN EIJK, JAN
,
MEIJER, HENDRICUS J.M
,
MARKVOORT, JAN ALBERT
,
ROZENVELD, JOHANNES ALBERT
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12
Positionierungseinrichtung mit zwei parallel arbeitenden Manipulatoren sowie optolithographische Einrichtung mit einer derartigen Positionierungseinrichtung
von
VAN DER MAADEN, JOHAN, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
,
VAN EIJK, JAN, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
,
ROZENVELD, JOHANNES ALBERT, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
,
VERMEER, ADRIANUS J.P.M., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
,
MARKVOORT, JAN ALBERT, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
,
MEIJER, HENDRICUS J.M., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
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Patent
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13
Integrated circuit and battery powered electronic device
von
MEIJER RINZE IDA M.P
,
RAO KIRAN BATNI R
,
VEENDRICK HENDRICUS J.M
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Patent
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