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    Excimer laser-induced microbumps on preheated BK7-glass

    Excimer laser-induced microbumps on preheated BK7-glass von Zahariev, P., Mechkarov, N., Danev, G., Ihlemann, J.


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    CD-R groove measurement by phase stepping interferometry

    CD-R groove measurement by phase stepping interferometry von Sainov, V., Mechkarov, N.


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    CD-R groove measurement by phase stepping interferometry: Microsystems metrology. Part II

    CD-R groove measurement by phase stepping interferometry: Microsystems metrology. Part II von SAINOV, V, MECHKAROV, N


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    Micro bump formation on preheated BK7-glass by excimer laser irradiation

    Micro bump formation on preheated BK7-glass by excimer laser irradiation von Zahariev, P., Mechkarov, N., Danev, G., Ihlemann, J.

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