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Method of forming a metal silicide layer, devices incorporating metal silicide layers and design structures for the devices
von
ANDERSON FELIX PATRICK
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WHITE ERIC JEFFREY
,
MCDEVIN THOMAS LEDDY
,
HE ZHONG-XIANG
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Method of forming a metal silicide layer, devices incorporating metal silicide layers and design structures for the devices
von
Anderson, Felix Patrick
,
He, Zhong-Xiang
,
McDevin, Thomas Leddy
,
White, Eric Jeffrey
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METHOD OF FORMING A METAL SILICIDE LAYER, DEVICES INCORPORATING METAL SILICIDE LAYERS AND DESIGN STRUCTURES FOR THE DEVICES
von
ANDERSON FELIX PATRICK
,
WHITE ERIC JEFFREY
,
MCDEVIN THOMAS LEDDY
,
HE ZHONG-XIANG
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