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Angled etching of Si by ClF3-Ar gas cluster injection
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Molecular dynamics simulations for gas cluster ion beam processes
Veröffentlicht in Vacuum
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Cleidocranial dysplasia with growth hormone deficiency: a case report
Veröffentlicht in BMC pediatrics
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Surface processing with high-energy gas cluster ion beams
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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