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Native oxides on Si surfaces of deep-submicron contact-hole bottoms
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Wafer Treatment Using Electrolysis-Ionized Water
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Development of New TBC Coating System by Water Plasma Spraying and HVOF
Veröffentlicht in Zairyo-to-Kankyo
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