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MARCO ADRIANUS PETER VAN DEN HEUVEL
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Suchergebnisse - MARCO ADRIANUS PETER VAN DEN HEUVEL
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MARCO ADRIANUS PETER VAN DEN HEUVEL
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Titel
1
SUBSTRATE SUPPORT SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD OF EXPOSING A SUBSTRATE
von
Zoo, Boogyeong
,
KUNNEN, Johan Gertrudis Cornelis
,
VAN DEN HEUVEL, Marco Adrianus Peter
,
GILIJAMSE, Rogier Sebastiaan
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Patent
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2
METHOD OF UNLOADING AN OBJECT FROM A SUPPORT TABLE
von
BLOKS, Ruud Hendrikus Martinus Johannes
,
VAN DEN HEUVEL, Marco Adrianus Peter
,
DE SIMONE, Giovanna
,
GERRITZEN, Justin Johannes Hermanus
,
ROSET, Niek Jacobus Johannes
,
LAURENT, Thibault Simon Mathieu
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Patent
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3
Method of unloading an object from a support table
von
Laurent, Thibault Simon Mathieu
,
Roset, Niek Jacobus Johannes
,
De Simone, Giovanna
,
Van Den Heuvel, Marco Adrianus Peter
,
Gerritzen, Justin Johannes Hermanus
,
Bloks, Ruud Hendrikus Martinus Johannes
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Patent
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4
METHOD OF UNLOADING AN OBJECT FROM A SUPPORT TABLE
von
BLOKS, Ruud Hendrikus Martinus Johannes
,
VAN DEN HEUVEL, Marco Adrianus Peter
,
DE SIMONE, Giovanna
,
ROSET, Niek Jacobus Johannes
,
GERRITZEN, Justin Johannes Hermanns
,
LAURENT, Thibault Simon Mathieu
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Patent
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5
기판 지지 시스템, 리소그래피 장치 및 기판 노광 방법
von
GILIJAMSE ROGIER SEBASTIAAN
,
ZOO BOOGYEONG
,
KUNNEN JOHAN GERTRUDIS CORNELIS
,
VAN DEN HEUVEL MARCO ADRIANUS PETER
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Patent
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6
METHOD OF UNLOADING OBJECT FROM SUPPORT TABLE
von
BLOKS RUUD HENDRIKUS MARTINUS JOHANNES
,
JUSTIN JOHANNES HERMANUS GERRITZEN
,
GIOVANNA DE SIMONE
,
NIEK JACOBS JOHANNES ROSET
,
LAURENT THIBAUD SIMON MATTHEW
,
VAN DEN HEUVEL MARCO ADRIANUS PETER
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Patent
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7
Substrate holder, lithographic apparatus, computer program and method
von
MEIJERINK, RICK JEROEN
,
PEREZ MUNOZ, JUAN CAMILO
,
VAN DEN HEUVEL, MARCO ADRIANUS PETER
,
ZENG, SI-HAN
,
VAN DER MAADEN, MARTIJN
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Patent
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8
METHOD OF UNLOADING AN OBJECT FROM A SUPPORT TABLE
von
THIBAULT SIMON MATHIEU LAURENT
,
JUSTIN JOHANNES HERMANUS GERRITZEN
,
GIOVANNA DE SIMONE
,
RUUD HENDRIKUS MARTINUS JOHANNES BLOKS
,
NIEK JACOBUS JOHANNES ROSET
,
MARCO ADRIANUS PETER VAN DEN HEUVEL
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Patent
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9
METHOD OF UNLOADING AN OBJECT FROM A SUPPORT TABLE
von
DE SIMONE GIOVANNA
,
ROSET NIEK JACOBUS JOHANNES
,
BLOKS RUUD HENDRIKUS MARTINUS JOHANNES
,
LAURENT THIBAULT SIMON MATHIEU
,
GERRITZEN JUSTIN JOHANNES HERMANUS
,
VAN DEN HEUVEL MARCO ADRIANUS PETER
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Patent
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10
METHOD OF UNLOADING AN OBJECT FROM A SUPPORT TABLE
von
DE SIMONE GIOVANNA
,
ROSET NIEK JACOBUS JOHANNES
,
BLOKS RUUD HENDRIKUS MARTINUS JOHANNES
,
LAURENT THIBAULT SIMON MATHIEU
,
GERRITZEN JUSTIN JOHANNES HERMANUS
,
VAN DEN HEUVEL MARCO ADRIANUS PETER
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Patent
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11
SUPPORT TABLE FOR A LITHOGRAPHIC APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
von
VAN ABEELEN, HENDRIKUS, JOHANNES, MARINUS
,
VAN DEN HEUVEL, MARCO, ADRIANUS, PETER
,
DE KOCK, ALWIN
,
HOUBEN, MARTIJN
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Patent
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12
Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support location, lithographic apparatus and device manufacturing method
von
NIEK ELOUT DE KRUIJF
,
PAUL VAN DONGEN
,
THOMAS POIESZ
,
JOHANNES GERARDUS MARIA MULDER
,
JUSTIN JOHANNES HERMANUS GERRITZEN
,
MARTIJN HOUBEN
,
MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS LEENDERS
,
MIRCEA DUSA
,
ANTONIE HENDRIK VERWEIJ
,
MARCO ADRIANUS PETER VAN DEN HEUVEL
,
ABRAHAM ALEXANDER SOETHOUDT
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Patent
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13
SUBSTRATE SUPPORT, METHOD FOR LOADING A SUBSTRATE ON A SUBSTRATE SUPPORT LOCATION, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
von
DE KRUIJF, NIEK, ELOUT
,
DUSA, MIRCEA
,
MULDER, JOHANNES, GERARDUS,MARIA
,
SOETHOUDT, ABRAHAM, ALEXANDER
,
VAN DEN HEUVEL, MARCO, ADRIANUS, PETER
,
POIESZ, THOMAS
,
GERRITZEN, JUSTIN, JOHANNES, HERMANUS
,
VERWEIJ, ANTONIE, HENDRIK
,
HOUBEN, MARTIJN
,
LEENDERS, MARTINUS, HENDRIKUS, ANTONIUS
,
VAN DONGEN, PAUL
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Patent
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14
Method of placing a substrate, method of transferring a substrate, support system and lithographic projection apparatus
von
ALBERTI JOZEF AUGUSTINUS MARIA
,
GROENSMIT FRANS ERIK
,
VAN NUNEN GERARDUS PETRUS MATTHIJS
,
COMPEN RENE THEODORUS PETRUS
,
VAN DEN HEUVEL MARCO ADRIANUS PETER
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Patent
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15
CALIBRATION METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS FOR CALIBRATING AN OPTIMUM TAKE OVER HEIGHT OF A SUBSTRATE
von
COMPEN RENE THEODORUS PETRUS
,
MATTHIJS VAN NUNEN GERARDUS PETRUS
,
VAN DEN HEUVEL MARCO ADRIANUS PETER
,
HOUBEN MARTIJN
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Patent
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