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Self-annealing and aging effect characterization on copper seed thin films
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Impact of narrow trench geometries on copper film crystallography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Phase formations in Co–Silicon system
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Initial reactions in Ti–Si bilayers: New indications from in situ measurements
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Influence of TiSi2 formation temperature on film thermal stability
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Initial reactions in Ti-Si(Mo) bilayers
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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The Challenge of Controlling Notifiable Avian Influenza by Means of Vaccination
Veröffentlicht in Avian diseases
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Investigation of C49-C54 TiSi2 transformation kinetics
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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