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SYSTEMS AND METHODS FOR REAL TIME STEREO IMAGING BY USING MULTIPLE ELECTRON BEAMS
von
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
REN YAN
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Patent
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2
APERTURE ARRAY WITH INTEGRATED CURRENT MEASUREMENT
von
SMAKMAN ERWIN PAUL
,
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
GOOSEN MAIKEL ROBERT
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3
SYSTEMS AND METHODS FOR IMAGE ENHANCEMENT FOR A MULTI-BEAM CHARGED-PARTICLE INSPECTION SYSTEM
von
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
GOOSEN MAIKEL ROBERT
,
KUINDERSMA LUCAS
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Patent
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4
APPARATUS FOR AND METHOD OF CONTROLLING AN ENERGY SPREAD OF A CHARGED-PARTICLE BEAM
von
SMAKMAN ERWIN PAUL
,
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
HANSEN SIMON BOJE
,
GOOSEN MAIKEL ROBERT
,
REN YAN
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5
Inspection tool, inspection method and computer program product
von
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
MIDDLEBROOKS SCOTT A
,
QUINTANILHA RICHARD
,
KOOPMAN ADRIANUS C. M
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6
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING PATTERNED LAYER OF MATERIAL
von
COENEN TEIS
,
POLYAKOV ALEXEY
,
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
KLEIN ALEXANDER L
,
VAN DEN BROEK BASTIAAN
,
SCOTUZZI MARIJKE
,
I. M. THEOBICA
,
DRUZHININA TAMARA
,
KURGANOVA EVGENIA
,
OVERKAMP JIM
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Patent
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7
PULSED CHARGED-PARTICLE BEAM SYSTEM
von
SMAKMAN ERWIN PAUL
,
MANGNUS ALBERTUS V. G
,
BLEEKER ARNO JAN
,
GOOSEN MAIKEL ROBERT
,
DE JAGER PIETER WILLEM HERMAN
,
REN YAN
,
LASSISE ADAM
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Patent
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Esp@Cenet
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