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Electrostatic chuck with embossed top plate and cooling channels
von
Mangalore, Chethan
,
Oh, Jeonghoon
,
Balan, Arumuga
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Source RF power split inner coil to improve BCD and etch depth performance
von
Mangalore, Chethan
,
Ren, Ruizhe
,
Farr, Jon C
,
Demonte, Peter
,
Wang, Rongping
,
Balakrishna, Parthiban
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ELECTROSTATIC CHUCK WITH EMBOSSED TOP PLATE AND COOLING CHANNELS
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BALAN, ARUMUGA
,
OH, JEONGHOON
,
MANGALORE, CHETHAN
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ELECTROSTATIC CHUCK WITH EMBOSSED TOP PLATE AND COOLING CHANNELS
von
OH JEONGHOON
,
BALAN ARUMUGA
,
MANGALORE CHETHAN
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5
SOURCE RF POWER SPLIT INNER COIL TO IMPROVE BCD AND ETCH DEPTH PERFORMANCE
von
WANG Rongping
,
DEMONTE Peter
,
BALAKRISHNA Parthiban
,
FARR Jon C
,
REN Ruizhe
,
MANGALORE Chethan
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6
SOURCE RF POWER SPLIT INNER COIL TO IMPROVE BCD AND ETCH DEPTH PERFORMANCE
von
MANGALORE, Chethan
,
WANG, Rongping
,
BALAKRISHNA, Parthiban
,
DEMONTE, Peter
,
REN, Ruizhe
,
FARR, Jon C
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7
Electrostatic chuck with embossed top plate and cooling channels
von
BALAN, ARUMUGA
,
OH, JEONGHOON
,
MANGALORE, CHETHAN
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8
Electrostatic chuck with embossed top plate and cooling channels
von
OH JEONGHOON
,
BALAN ARUMUGA
,
MANGALORE CHETHAN
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ELECTROSTATIC CHUCK WITH EMBOSSED TOP PLATE AND COOLING CHANNELS
von
OH JEONGHOON
,
BALAN ARUMUGA
,
MANGALORE CHETHAN
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Source RF power split inner coil to improve BCD and etch depth performance
von
FARR JON C
,
MANGALORE CHETHAN
,
REN RUIZHE
,
BALAKRISHNA PARTHIBAN
,
WANG RONGPING
,
DEMONTE PETER
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11
BCD 및 에칭 깊이 성능을 개선하기 위한 소스 RF 전력 분할 내부 코일
von
FARR JON C
,
MANGALORE CHETHAN
,
REN RUIZHE
,
BALAKRISHNA PARTHIBAN
,
WANG RONGPING
,
DEMONTE PETER
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12
Electrostatic chuck with embossed top plate and cooling channels
von
BALAN, ARUMUGA
,
OH, JEONGHOON
,
MANGALORE, CHETHAN
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Patent
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13
Source RF power split inner coil to improve BCD and etch depth performance
von
WANG, RONGJUN
,
MANGALORE, CHETHAN
,
FARR, JON C
,
BALAKRISHNA, PARTHIBAN
,
REN, RUI-ZHE
,
DEMONTE, PETER
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Patent
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14
A study on Association of Antioxidant Status of Red Blood Cells with Type 2 Diabetes
von
Shenoy, Shabari Mangalore
,
Devi, Ullal Harshini
,
Kumari, Suchetha N
,
Subramanya, Chethan
Veröffentlicht in
Journal of clinical and diagnostic research
Volltext
Artikel
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15
Oral periimplant bone loss: platform switching or shifting? – a review
von
Jain, Avni
,
Bhat, Vinaya
,
Hegde, Chethan
Veröffentlicht in
International journal of recent scientific research
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Artikel
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