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    Micromechanical resonator assembly with external actuator

    Micromechanical resonator assembly with external actuator von HOFMANN ULRICH, HAKAN. LUBAS, CAO YONG, SCHROEDER SASKIA, MALOWSKA STEPHEN, ALBERS JOERG, JANIK CHRISTIAN, HEINRICH FELIX

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    Deflection equipment with galvanometer and used in technical field of scanners

    Deflection equipment with galvanometer and used in technical field of scanners von HOFMANN ULRICH, CAO YONG, MALOWSKA STEPHEN, ALBERS JOERG, SENGER FRANK, JANIK CHRISTIAN, WEIL GUNNAR, VON WANTOK THOMAS

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    Micro-electro-mechanical system (MEMS) device and noise cancellation method

    Micro-electro-mechanical system (MEMS) device and noise cancellation method von HOFMANN ULRICH, MALOWSKA STEPHEN, ALBERS JOERG, POL LEON, KNIERIM THOMAS, JANIK CHRISTIAN, SENGER FRANK, VON WANTOK THOMAS

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