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Self-aligned emitter-base bipolar junction transistor with reduced base resistance and base-collector capacitance
von
Harame David L
,
Machia Keith J
,
Alperstein Deborah A
,
Liu Qizhi
,
Willets Christa R
,
Joseph Alvin J
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SELF-ALIGNED EMITTER-BASE BIPOLAR JUNCTION TRANSISTOR WITH REDUCED BASE RESISTANCE AND BASE-COLLECTOR CAPACITANCE
von
MACHIA KEITH J
,
HARAME DAVID L
,
ALPERSTEIN DEBORAH A
,
WILLETS CHRISTA R
,
JOSEPH ALVIN J
,
LIU QIZHI
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3
Method of photolithographic exposure dose control as a function of resist sensitivity
von
MACHIA KEITH J
,
PARRISH CHARLES J
,
SCHNEIDER CRAIG E
,
NICHOLLS MATTHEW C
,
WHITING CHARLES A
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4
Method of photolithographic exposure dose control as a function of resist sensitivity
von
Machia, Keith J
,
Nicholls, Matthew C
,
Parrish, Charles J
,
Schneider, Craig E
,
Whiting, Charles A
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Method of photolithographic exposure dose control as a function of resist sensitivity
von
MACHIA KEITH J
,
PARRISH CHARLES J
,
SCHNEIDER CRAIG E
,
NICHOLLS MATTHEW C
,
WHITING CHARLES A
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6
Method of photolithographic exposure dose control as a function of resist sensitivity
von
MACHIA KEITH J
,
PARRISH CHARLES J
,
SCHNEIDER CRAIG E
,
NICHOLLS MATTHEW C
,
WHITING CHARLES A
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Method of photolithographic exposure dose control as a function of resist sensitivity
von
Machia, Keith J
,
Nicholls, Matthew C
,
Parrish, Charles J
,
Schneider, Craig E
,
Whiting, Charles A
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Method of photolithographic exposure dose control as a function of resist sensitivity
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MACHIA KEITH J
,
PARRISH CHARLES J
,
SCHNEIDER CRAIG E
,
NICHOLLS MATTHEW C
,
WHITING CHARLES A
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9
Contact hole profile and line edge width metrology for critical image control and feedback of lithographic focus
von
MACHIA KEITH J
,
KNIGHT STEPHEN E
,
SHAVER JOSEPH E
,
SUNDLING DIANNE L
,
BOWLEY, JR. REGINALD R
,
CARLOS VINCENT J
,
LEIDY ROBERT K
,
DORAN JAMES E
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Contact hole profile and line edge width metrology for critical image control and feedback of lithographic focus
von
Bowley, Jr, Reginald R
,
Carlos, Vincent J
,
Doran, James E
,
Knight, Stephen E
,
Leidy, Robert K
,
Machia, Keith J
,
Shaver, Joseph E
,
Sundling, Dianne L
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Contact hole profile and line edge width metrology for critical image control and feedback of lithographic focus
von
MACHIA KEITH J
,
KNIGHT STEPHEN E
,
SHAVER JOSEPH E
,
SUNDLING DIANNE L
,
BOWLEY, JR. REGINALD R
,
CARLOS VINCENT J
,
LEIDY ROBERT K
,
DORAN JAMES E
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Contact hole profile and line edge width metrology for critical image control and feedback of lithographic focus
von
Bowley, Jr, Reginald R
,
Carlos, Vincent J
,
Doran, James E
,
Knight, Stephen E
,
Leidy, Robert K
,
Machia, Keith J
,
Shaver, Joseph E
,
Sundling, Dianne L
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Contact hole profile and line edge width metrology for critical image control and feedback of lithographic focus
von
MACHIA KEITH J
,
KNIGHT STEPHEN E
,
SHAVER JOSEPH E
,
BOWLEY REGINALD R
,
SUNDLING DIANNE L
,
CARLOS VINCENT J
,
LEIDY ROBERT K
,
DORAN JAMES E
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