-
1
-
2
Lithographic Imaging Techniques for the Formation of Nanoscopic Features
Veröffentlicht in Chemical reviews
VolltextArtikel -
3
-
4
-
5
Solution photochemistry of poly(dialkylsilanes): a new class of photoresists
Veröffentlicht in Pure and applied chemistry
VolltextArtikel -
6
-
7
-
8
Novel Fluoropolymers for Use in 157nm Lithography
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
VolltextArtikel -
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
Progress in 193 nm Positive Resists
Veröffentlicht in Journal of photopolymer science and technology
VolltextArtikel -
16
Conformational transition studies of organosilane polymers by light and neutron scattering
Veröffentlicht in Macromolecules
VolltextArtikel -
17
-
18
-
19
-
20
POLYSILANE PHOTORESISTS FOR 193 AND 248 NM LITHOGRAPHY
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
VolltextArtikel