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PVD deposition of titanium and titanium nitride layers in the same chamber without use of a collimator or a shutter
von
D'Couto, Gerard Chris
,
Tkach, George
,
Lyons, Jeff Dewayne
,
Biberger, Max
,
Lai, Kwok Fai
,
Lu, Jean
,
Ashtiani, Kaihan
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PVD deposition of titanium and titanium nitride layers in the same chamber without use of a collimator or a shutter
von
BIBERGER MAX
,
LAI KWOK FAI
,
TKACH GEORGE
,
ASHTIANI KAIHAN
,
LYONS JEFF DEWAYNE
,
D'COUTO GERARD CHRIS
,
LU JEAN
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Patent
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PVD deposition of titanium and titanium nitride layers in the same chamber without use of a collimator or a shutter
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BIBERGER MAX
,
LAI KWOK FAI
,
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,
ASHTIANI KAIHAN
,
LYONS JEFF DEWAYNE
,
D'COUTO GERARD CHRIS
,
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Esp@Cenet
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