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The interstitial fraction of diffusivity of common dopants in Si
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Doping of Si thin films by low-temperature molecular beam epitaxy
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Trap-limited interstitial diffusion and enhanced boron clustering in silicon
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Boron diffusion in strained Si1-xGex epitaxial layers
Veröffentlicht in Physical review letters
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Beryllium δ doping of GaAs grown by molecular beam epitaxy
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Damage to InP and InGaAsP surfaces resulting from CH4/H2 reactive ion etching
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Effect of H on Si molecular-beam epitaxy
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Passivation of acceptors in InP resulting from CH4/H2 reactive ion etching
Veröffentlicht in Applied physics letters
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