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Self-assembling MEMS variable and fixed RF inductors
Veröffentlicht in IEEE transactions on microwave theory and techniques
VolltextArtikel -
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Micromachining for terahertz applications
Veröffentlicht in IEEE transactions on microwave theory and techniques
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Polyimide Spacers for Flip-Chip Optical MEMS
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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