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Metal gate work function engineering using AlNx interfacial layers
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Temperature dependence of the work function of ruthenium-based gate electrodes
Veröffentlicht in Thin solid films
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Two silicon nitride technologies for post-SiO2 MOSFET gate dielectric
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Metal gate work function engineering using Al N x interfacial layers
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Characterization of RuO2 electrodes on Zr silicate and ZrO2 dielectrics
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Two silicon nitride technologies for post-SiO(2) MOSFETgate dielectric
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Two silicon nitride technologies for post-SiO sub(2) MOSFET gate dielectric
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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