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Pore sealing mechanism in OSG low‐k films under ion bombardment
Veröffentlicht in Plasma processes and polymers
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Photoabsorption and damage of OSG low‐k films by VUV emission at 140–160nm
Veröffentlicht in Plasma processes and polymers
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Photoabsorption and damage of OSG low‐k films by VUV emission at 140–160 nm
Veröffentlicht in Plasma processes and polymers
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Modification of Porous Ultralow‑k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Veröffentlicht in ACS applied electronic materials
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