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1
Fabrication of Sputtering Sources by Plasma Spraying: Tantalum‐Hafnium Mixtures
von
Locker, L. D.
,
Malm, D. L.
Veröffentlicht in
Review of scientific instruments
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Preparation of Hafnium-Tantalum Nitride Films by Reactive Alloy Sputtering
von
Locker, L. D.
,
Naegele, C. L.
,
Vratny, F.
Veröffentlicht in
Journal of the Electrochemical Society
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Hafnium tantalum nitride resistive sea for the silicon diode-array camera tube target
von
Ballamy, W.C.
,
Knolle, W.R.
,
Locker, L.D.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on electron devices
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Zeitschriftentitel
Ieee Transactions On Electron Devices
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J. Electrochem. Soc. 118: No. 11, 1856-62
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Journal Of The Electrochemical Society
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Rev. Sci. Instrum. 42: No. 11, 1696-8
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Technology
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Hafnium
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Hafnium Alloys
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Hafnium Alloys And Systems/Hf-Ta, Fabrication Of Sputtering Sources Of, By Plasma Spraying
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Hafnium Nitride
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Hafnium Nitrides
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Hafnium Nitrides/Deposition On Cooled Substrates By Reactive Sputtering Of Hafnium In Nitrogen
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Instruments & Instrumentation
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1
Erscheinungsjahr
Von:
Bis:
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Ieee Power & Energy Library
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Aip Digital Archive
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Iopscience Extra
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Ieee Electronic Library (Iel)
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Ingenta Connect
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Aip Journals Complete
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