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Dielectric breakdown mechanisms in gate oxides
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Reduction of Hot Carrier Degradation of FinFETs Due to Short-Pulse Stress
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Plasma immersion ion implantation for electronic materials
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Modeling of energy distributions for plasma implantation
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Plasma immersion ion implantation with dielectric substrates
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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The effect of subsurface doping on gate oxide charging damage
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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