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High-Efficiency Inductively Coupled Plasma Source With Dual Antenna Hybrid Scheme
von
Zhang, Zhong-Lin
,
Nie, Qiu-Yue
,
Kong, Fan-Rong
,
Zhang, Xiao-Ning
,
Jiang, Bin-Hao
,
Lim, Jianwei Mark
,
Levchenko, Igor
,
Xu, Shuyan
Veröffentlicht in
IEEE transactions on plasma science
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Biomedical Engineering Technologies: Volume 1
von
Ossandon, Miguel R
,
Baker, Houston
,
Rasooly, Avraham
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