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Fabrication of monolithic multilevel high-aspect-ratio ferromagnetic devices
von
Tao Wang
,
McCandless, A.B.
,
Lienau, R.M.
,
Kelly, K.W.
,
Hensley, D.
,
Desta, Y.
,
Zhong-Geng Ling
Veröffentlicht in
Journal of microelectromechanical systems
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