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Microstructure and piezoelectric properties of reactively sputtered highly C-axis ScxAl1-xN thin films on diamond-like carbon/Si substrate
von
Liauh, Woan Jwu
,
Wu, Sean
,
Huang, Jow-Lay
,
Lii, Ding-Fwu
,
Lin, Zhi-Xun
,
Yeh, Wen-Kuan
Veröffentlicht in
Surface & coatings technology
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