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A novel slurry for chemical mechanical polishing of single crystal diamond
Veröffentlicht in Applied surface science
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Green chemical mechanical polishing of sapphire wafers using a novel slurry
Veröffentlicht in Nanoscale
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Novel rotary chemical mechanical polishing on an integral impeller
Veröffentlicht in Journal of manufacturing processes
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A novel process of chemical mechanical polishing for FV520B steel
Veröffentlicht in Journal of manufacturing processes
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