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Comparison of NO titration and fiber optics catalytic probes for determination of neutral oxygen atom concentration in plasmas and postglows
von
Mozetič, Miran
,
Ricard, Andre
,
Babič, Dušan
,
Poberaj, Igor
,
Levaton, Jacque
,
Monna, Virginie
,
Cvelbar, Uroš
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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