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APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING HEATING OF BASE WITHIN CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION CHAMBER
von
Guo, Quanyong
,
Tian, Baoxia
,
Lee, Steven Tianxiao
,
Liu, Yingbin
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Apparatus and method for controlling heating of base within chemical vapour deposition chamber
von
Liu Yingbin
,
Tian Baoxia
,
Lee Steven Tianxiao
,
Guo Quanyong
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Method for measuring temperature of film in reaction chamber
von
Chen Lu
,
Ma Yanzhong
,
Chen Zhehao
,
Tianxiao Lee Steven
,
Zhang Chaoqian
,
Li Yousen
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APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING HEATING OF BASE WITHIN CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION CHAMBER
von
LIU YINGBIN
,
LEE STEVEN TIANXIAO
,
TIAN BAOXIA
,
GUO QUANYONG
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5
METHOD FOR MEASURING TEMPERATURE OF FILM IN REACTION CHAMBER
von
MA YANZHONG
,
CHEN ZHEHAO
,
ZHANG CHAOQIAN
,
CHEN LU
,
TIANXIAO LEE STEVEN
,
LI YOUSEN
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APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING HEATING OF BASE WITHIN CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION CHAMBER
von
LIU YINGBIN
,
LEE STEVEN TIANXIAO
,
TIAN BAOXIA
,
GUO QUANYONG
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7
METHOD FOR MEASURING TEMPERATURE OF FILM IN REACTION CHAMBER
von
MA YANZHONG
,
STEVEN TIANXIAO LEE
,
CHEN ZHEHAO
,
ZHANG CHAOQIAN
,
CHEN LU
,
LI YOUSEN
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Patent
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8
Method for measuring temperature of film in reaction chamber
von
ZHANG, CHAO-QIAN
,
CHEN, ZHIHAO
,
CHEN, LU
,
LI, YOU-SEN
,
MA, YAN-ZHONG
,
LEE, STEVEN TIANXIAO
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